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產品展示 / Products

產品名稱:半導體專用氫氣發(fa)生器

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更新時間:2022-12-12

產品簡介:半(ban)導體(ti)專用氫氣發生器(qi)是由(you)多個(ge)部件組成的設備,包(bao)括電解池(chi)、純(chun)水箱、氫/水分離器(qi)、收集(ji)器(qi)、干(gan)燥器(qi)、傳感器(qi)、壓力調節閥和開關電源等,設備采用英國Peculiar研(yan)發的離子膜技術。

詳細資料:

半導體專用氫氣(qi)發生器(qi)是由多個部件組成(cheng)的(de)設備,包括電(dian)解(jie)(jie)池、純水箱、氫/水分離器(qi)、收集器(qi)、干燥(zao)器(qi)、傳感器(qi)、壓(ya)力調節閥和(he)開關電(dian)源等。當設備通電(dian)后,電(dian)解(jie)(jie)池的(de)陰極產(chan)生氫氣(qi),陽極產(chan)生氧氣(qi)。氫氣(qi)進入(ru)氫/水分離器(qi),而氧氣(qi)則(ze)排入(ru)大氣(qi)中。

氫/水分離器的作用是將氫氣和水分離開來。經過分離后的氫氣進入干燥器進行除濕處理,然后通過穩壓閥和調節閥調整到額定壓力(0.02~0.45Mpa可調),并由出口輸出。電解池的產氫壓力由傳感器控制,保持在大約0.45Mpa左右。當壓力達到設定值時,電解池的電源供應會被切斷;而當壓力下降并低于設定值時,電源會恢復供電。

半導體專用(yong)氫氣發(fa)生器采用(yong)了SPE固態電解(jie)質技術,無需使用(yong)堿液(ye)。它直接電解(jie)純水,有效地保護色譜(pu)柱。該(gai)設備(bei)具有以下(xia)結(jie)構優勢:

1.采(cai)用英國(guo)Peculiar研發的離子(zi)膜技術;

2.使用(yong)分子篩耐用(yong)干燥劑(ji),使氫氣(qi)純化更加高效,能夠(gou)產(chan)生純度為99.9999%的(de)氫氣(qi),確保結果的(de)重現性;

3.采用英國Peculiar硅橡膠圈(含硫量低(di)),有(you)效提高氣體(ti)質(zhi)量,保證GC基(ji)線平穩(wen);

4.具備自(zi)動水(shui)位控制(zhi)功(gong)能,當缺(que)水(shui)狀態時會(hui)自(zi)動停機(ji),并具備自(zi)動補水(shui)功(gong)能。Hydrogen-500(S)水(shui)量低于(yu)15%時,外(wai)置(zhi)水(shui)箱會(hui)自(zi)動補水(shui),無需停機(ji)加水(shui)。這樣可以有效保(bao)護電解池并延長使用壽命;

5.壓力(li)和流量均采用一(yi)體化微電腦控制。


 


 






 

 


 

氫氣(qi)發生器(qi)在半(ban)導體行業中的應(ying)用(yong):

 

1.清洗和(he)退火:在半(ban)導(dao)體制造過(guo)程(cheng)中,清洗和(he)退火是非常(chang)重要(yao)的步驟(zou)。氫氣(qi)可以(yi)用作清洗氣(qi)體,通過(guo)去除(chu)表(biao)面的污染物(wu)和(he)氧(yang)化物(wu),提供干凈(jing)的表(biao)面。同時,氫氣(qi)還可用于退火過(guo)程(cheng),促進(jin)晶(jing)體的再結晶(jing)和(he)去除(chu)損傷(shang)。

 

2.賦(fu)活(huo)處(chu)理(li)(li):氫氣(qi)還可以(yi)用于賦(fu)活(huo)處(chu)理(li)(li),即將水合氧化物轉(zhuan)化為電氧化物以(yi)提高(gao)雜質離子的(de)濃度。這對于改善半(ban)導體器件的(de)性能和穩(wen)定(ding)性非常重(zhong)要。

 

3.氫氟化(hua)(hua)物析出:在半導(dao)體(ti)器件制造過程中,需要使(shi)用氫氟酸(suan)進行刻蝕。而氫氟化(hua)(hua)物析出則是將氣相中的(de)氫氟化(hua)(hua)物從濕法排放中回收,減少對(dui)環境的(de)污染。

 

4.硅(gui)取(qu)向和(he)外(wai)(wai)延生(sheng)(sheng)長:氫氣可以用于調(diao)控(kong)(kong)硅(gui)晶片的(de)取(qu)向和(he)外(wai)(wai)延生(sheng)(sheng)長過(guo)程(cheng)。通過(guo)控(kong)(kong)制氫氣的(de)流量和(he)溫度,可以使硅(gui)晶面優先生(sheng)(sheng)長在特定方向上(shang),得(de)到特定取(qu)向的(de)硅(gui)材料。

 

5.清(qing)除氧污染:在一(yi)些特殊的半(ban)導(dao)體工藝中,氫氣可以(yi)用來清(qing)除氧氣的污染,避免氧氣與半(ban)導(dao)體材料反應產生影響器(qi)件性能的氧化物。 

 

 


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